Họ và tên: Vũ Ngọc Hùng
Học hàm, học vị: Phó Giáo Sư, Tiến Sĩ
Ngày tháng năm sinh: 10/10/1955
Vị trí công tác: Viện Trưởng
Trưởng phòng Thí nghiệm
Địa chỉ nơi làm việc: Tòa nhà ITIMS, C10, ĐHBKHN
Email: Địa chỉ email này đã được bảo vệ từ spam bots, bạn cần kích hoạt Javascript để xem nó. ; Địa chỉ email này đã được bảo vệ từ spam bots, bạn cần kích hoạt Javascript để xem nó.
Điện thoại: 38680787
Fax: 84-4-8692963

• Công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
• Vật lý bán dẫn
• Vật liệu điện tử và quá trình chế tạo I
• Khoa học và công nghệ vật liệu đại cương
• Vật lý và công nghệ màng mỏng
• Quang điện tử và thông tin quang sợi
• Laser

2. Hướng nghiên cứu ( Lĩnh vực hoạt động khoa học ):

• Hệ thống vi cơ điện tử - MEMS
  
  
• Vật liệu Nano tích hợp QCM
  
  
• Vật liệu sắt điện

3. Thành tích, giải thưởng:

- Không có

4. Quá trình đào tạo:

5. Tóm tắt quá trình công tác:

• 1980-2006: Cán bộ giảng dạy và nghiên cứu của viện VLKT, trường ĐHBK Hà Nội
• 1992- đến nay: Cán bộ giảng dạy và nghiên cứu của viện ITIMS, trường ĐHBK Hà Nội
  

6. Công trình NCKH điển hình:

Chủ trì các đề tài NCKH:

7. Các giáo trình đã biên soạn:

- Không có

8. Các công trình NC đã công bố:

1. Vu Ngoc Hung, Takashi Abe, Phan Ngoc Minh, Masayoshi Esashi. "Miniaturized, highly sensitive single-chip multichannel quartz-crystal microbalance", J. Applied Physics Letters, Dec. 23, 2002, Vol. 81, Issue 26, p. 5069-5071.
   
   
2. Takashi  Abe, LiLi, Vu Ngoc Hung, and Masayoshi Esashi. "Energy dissipation in small-diameter quartz crystal microbalance experimentally studied for ultra-high sensitive gravimetry". Proceedings of the 16 th  IEEE International Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Conference, Kyoto, Japan, Jan. 2003,  p 518-521.
   
   
3. Vu Ngoc Hung, Takashi Abe, Phan Ngoc Minh, Masayoshi Esashi.  "High-frequency one-chip multichannel quartz crystal microbalance fabricated by deep RIE". Sensors and Actuators A 108 (2003) 91–96.
   
   
4. Takashi Abe, Vu Ngoc Hung, Masayoshi Esashi. "Inverted mesa-type quartz crystal resonators fabrication by deep-reactive ion etching". J. IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, July 2006, Vol 53, No7, p. 1234-1236.
   
   
5. L.H. Nguyen, T.V.Phi, P.Q. Phan, H. N. Vu, C. Nguyen-Duc, F. Fossard, "Synthesis of multi-walled carbon nanotubes for NH₃ gas detection", J. Phys. E 37, pp. 54-57
   
   
6. Vu Ngoc Hung et . all. "Design and fabrication of a miniaturized three-degree-of-freedom piezoresistive acceleration sensor based on MEMS technology using deep reactive ion etching", Physics and Engineering of New Materials 127 (2009), p. 377-381.
   
   
7. Phuc Hong Pham, Lam Bao Dang , Hung Ngoc Vu. "Micro robot system with moving micro-car driven by electrostatic comb-drive actuators". Microsystems Technology  No 4 Vol 16 (2010)
   
   
8. Nguyen Van Quy, Vu Anh Minh, Nguyen Van Luan, Vu Ngoc Hung*, and Nguyen Van Hieu*, "Gas sensing properties at room temperature of a quartz crystal microbalance coated with ZnO nanorods", Sensors and Actuators B, 153 (2011) 188-193.
   
   
9. Minh D. Nguyen, Hung N Vu, Dave H A Blank and   Guus Rijnders, "Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 thin films for a MEMS application", Adv. Nat.Sci.:Nanosci. Nanotechnol.2 (2011) 015005
   
   
10. Nguyen Thanh Huy and Vu Ngoc Hung, "Influence of adhesion layers on the surface morphology of platinum-based electrodes for Pb(Zr,Ti)O3 thin films", Surface Review and Letters, Vol. 18, 1 & 2 (2011) 47-51. 
    
    
11. Vu Anh Minh, Le Anh Tuan, Tran Quang Huy, Vu Ngoc Hung, Nguyen Van Quy*, "Enhanced NH₃ gas sensing properties of a QCM sensor by increasing the length of vertically orientated ZnO nanorods", Applied Surface Science, 265 (2013) 458-464. (ISSN:0169-4332)
    
    
12. Minh D. Nguyen*, Chi T. Q. Nguyen, Thong Q. Trinh, Tai Nguyen, Thao N. Pham, Guus Rijnders and Hung N. Vu*, "Enhancement of ferroelectric and piezoelectric properties in PZT thin films with heterolayered structure", Materials Chemistry and Physics 138 (2013) 862-869. (ISSN:0254-0584
    
    
13. Hoang Manh Chu*, Hung Ngoc Vu, Kazuhiro Hane, "Electric feed-through for vacuum package using double-side anodic bonding silicon-on-insulator wafer", Jounal of Electrostatics, Volume 71, Issue 2, (2013), Pages 130–133 (ISSN: 0304-3886)
    
    
14. Minh Duc Nguyen*, Matthijn Deskkers, Hung Ngoc Vu, Guus Rijnders , "Film-thickness and composition dependence of epitaxial thin-film PZT-based mass-sensors", Sensors and Actuators A 199 (2013) 98-105 (ISSN: )
    
    
15.  Minh Duc Nguyen*, Evert Houwman, Matthijn Dekkers, Hung Ngoc Vu and Guus Rijnders, "A fast room-temperature poling process of piezoelectric Pb(Zr0.45Ti0.55)O3 thin films", Science of Advanced Materials, 6 (2014) p. 243-251.
    
    
16. Minh D. Nguyen*, Thong Q. Trinh, Matthijn Dekkers, Evert P. Houwman, Hung N. Vu and Guus Rijnders, “Effect of dopants on ferroelectric and piezoelectric properties of lead zirconate titanate thin films on Si substrates”, Ceramics International, 40 (2014) p. 1013-1018.
    
    
17. Thong Quang Trinh, Long Quang Nguyen, Dzung Viet Dao, Hoang Manh Chu* and Hung Ngoc Vu*, “Design and analysis of a lateral axis tuning fork gyroscope with guided-mechanical coupling”, Microsystem Technologies, 20 (2014) p. 281-289.
    
    
18. Ngo Duc Quan, Vu Ngoc Hung, Nguyen Van Quyet, Hoang Vu Chung  and Dang   Duc Dung*, “Band gap modification and ferroelectric properties of      Bi0.5(Na,K)0.5TiO3-based by Li substitution”,  AIP Advances 4, 017122 (2014);    http://dx.doi.org/10.1063/1.4863092
    
    
19. Nguyen, C.T.Q. and Nguyen, M.D. and Dekkers, J.M and Houwman, E.P. and Vu, Ngoc Hung and Rijnders, A.J.H.M. (2014) Process dependence of the piezoelectric response of membrane actuators based on PZT thin films. Thin solid films, 556. 509 - 515. ISSN 0040-6090
    
    
20. Vu Van Quang, Vu Ngoc Hung, Le Anh Tuan, Vu Ngoc Phan, Tran Quang Huy, Nguyen Van Quy*, “Graphene-coated quartz crystal microbalance for detection of volatile organic compounds at room temperature”, Thin Solid Films (2014) In Press.
    (***IF2012: 2.03***; DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2014.07.036)
    
    
21. Ngo Duc Quan, Luong Huu Bac, Duong Van Thiet, Vu Ngoc Hung, and Dang Duc Dung. "Current Development in Lead-Free Bi0.5(Na,K)0.5TiO3-Based Piezoelectric Materials".  Advances in Materials Science and Engineering (Impact Factor: 0.9). 08/2014;
    
    
22. N.D. Quan, N.V. Quyet, L.H. Bac, D.V. Thiet, V.N. Hung, D.D. Dung. "Structural, ferroelectric, optical properties of A-site-modified Bi0.5(Na0.78K0.22)0.5Ti0.97Zr0.03O3 lead-free piezoceramics." . Journal of Physics and Chemistry of Solids  Volume 77, February 2015, Pages 62–67
    
    
23. Vu Thu Hien, Nguyen Duc Minh, Vu Ngoc Hung. "Synthesis and characterisations of sol-gel-derived LaNiO3 thin-film electrodes on Si substrates".  International Journal of Nanotechnology (Impact Factor: 1.09). 05/2015; 12(5/6/7):496-504. DOI: 10.1504/IJNT.2015.067907
    
    

9. Học viên cao học đang hướng dẫn:

10. Nghiên cứu sinh đang hướng dẫn:

1. Nguyễn Thị Quỳnh Chi. Đề tài: Nghiên cứu chế tạo ứng dụng màng mỏng PZT, 2011-2015
   
2. Đặng Bảo Lâm. Đề tài: Nghiên cứu thiết kế chế tạo linh kiện vi chấp hành cấu trúc răng lược, 2009-2013
3. Ngô Đức Quân. Đề tài: Nghiên cứu tổng hợp và tính chất của vật liệu sắt điện không chì BNKT, 2011-2015