GS.TS. Vũ Ngọc Hùng

• Vi hệ thống cơ điện tử (MEMS): Vật liệu và Linh kiện.
• Nghiên cứu phát triển linh kiện MEMS quán tính: Con quay vi cơ, cảm biến gia tốc.
• Nghiên cứu phát triển linh kiện MEMS áp điện trên cơ sở vật liệu sắt điện/áp điện (PZT, BZT, Tinh thể thạch anh,…).

• Introduction to materials science
• Vật lý và linh kiện bán dẫn nâng cao

GS. TS. Vũ Ngọc Hùng là giảng viên cao cấp, Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu (ITIMS), Đại học Bách Khoa Hà Nội. Ông tốt nghiệp đại học chuyên ngành Vật lý Bán dẫn Trường Đại học Tổng hợp Kishinev Liên Xô năm 1979. Năm 1992, Ông bảo vệ luận án Tiến sỹ chuyên ngành Vật lý Chất rắn tại Trường ĐHBK Hà Nội. Các hướng nghiên cứu hiện nay của GS. TS. Vũ Ngọc Hùng bao gồm: Nghiên cứu phát triển linh kiện MEMS quán tính (Con quay vi cơ, cảm biến gia tốc); Nghiên cứu phát triển linh kiện MEMS áp điện trên cơ sở vật liệu sắt điện/áp điện (PZT, BZT, Tinh thể thạch anh,…).

Một số đề tài điển hình:

• Đề tài thuộc chương trình KH&CN trọng điểm cấp nhà nước: Nghiên cứu chế tạo linh kiện vi cơ điện tử (MEMS) ứng dụng trong lĩnh vực công nghiệp và giao thông.
• Đề tài cấp Bộ: Nghiên cứu công nghệ chế tạo và ứng dụng vi cân tinh thể thạch anh (QCM).
• Đề tài NAFOSTED: Nghiên cứu thiết kế chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa hệ số phẩm chất Q cao hoạt động trong môi trường không khí.
• Đề tài NAFOSTED: Màng mỏng sắt điện với đặc trưng áp điện cao và khả năng hoạt động ổn định trong thời gian dài nhằm ứng dụng trong các linh kiện vi cảm biến và vi truyền động.

Một số bài báo điển hình:

1. Vu Ngoc Hung, Takashi Abe, Phan Ngoc Minh, Masayoshi Esashi.  Miniaturized, highly sensitive single-chip multichannel quartz-crystal microbalance, Applied Physics Letters, Volume 81, Issue 26 (2002),  pp. 5069–5071.

2. Takashi Abe, LiLi, Vu Ngoc Hung, and Masayoshi Esashi. Energy dissipation in small-diameter quartz crystal microbalance experimentally studied for ultra-high sensitive gravimetry. Proceedings of the 16 th  IEEE International Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Conference, Kyoto, Japan (2003).

1. Nguyen Van Quy, Vu Anh Minh, Nguyen Van Luan, Vu Ngoc Hung, and Nguyen Van Hieu. Gas sensing properties at room temperature of a quartz crystal microbalance coated with ZnO nanorods, Sensors and Actuators B, Volume 153, Issue 1 (2011), pp. 188–193.
2. Thong Quang Trinh, Long Quang Nguyen, Dzung Viet Dao, Hoang Manh Chu and Hung Ngoc Vu. Design and analysis of a lateral axis tuning fork gyroscope with guided-mechanical coupling, Microsystem Technologies, Volume 20 (2014), pp. 281–289.
3. Minh D. Nguyen, Evert P. Houwman, Matthijn Dekkers, Chi T. Q. Nguyen, Hung N. Vu, and Guus Rijnders. Research Update: Enhanced energy storage density and energy efficiency of epitaxial Pb0.9La0.1(Zr0.52Ti0.48)O3 relaxor-ferroelectric thin-films deposited on silicon by pulsed laser deposition, APL MATERIALS  Volume 4 (2016), 080701.
4. Minh Ngoc Nguyen, Nhat Sinh Ha, Long Quang Nguyen, Hoang Manh Chu and Hung Ngoc Vu. Z-Axis Micromachined Tuning Fork Gyroscope with Low Air Damping, Micromachines, Volume 8, Issue 42 (2017).
5. Minh D. Nguyen, Chi T.Q. Nguyen, Hung N. Vu, Guus Rijnders. Controlling microstructure and film growth of relaxor-ferroelectric thin films for high break-down strength and energy-storage performance. Journal of the European Ceramic Society, Volume 38 (2018), pp. 95–103.

8. Chi T.Q. Nguyen, Hung N. Vu, Minh D. Nguyen. High-performance energy storage and breakdown strength of lowtemperature laser-deposited relaxor PLZT thin films on flexible Ti-foils, Journal of Alloys and Compounds, Volume 802 (2019), pp. 422–429.
9. Minh D. Nguyen, Trang T. Trinh, Ha T. Dang, Hung N. Vu. Understanding the effects of electric-field-induced phase transition and polarization loop behavior on the energy storage performance of antiferroelectric PbZrO3 thin films, Thin Solid Films, Volume 697 (2020) 137794.
10. Minh D. Nguyen, Hung N. Vu, Guus Rijnders. Nonlinearity in inverse and transverse piezoelectric properties of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 film actuators under AC and DC applied voltages, Current Applied Physics, Volume 32 (2021), pp. 106–110.

• Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử.
• MEMS Áp điện: Vật liệu và Linh kiện.
• Quang điện tử và  thông tin quang sợi.

• Bằng khen Thủ Tướng QĐ Số 2017/QĐ-TTg, 14/10/2016.