NHÓM NGHIÊN CỨU VÀ PHÁT TRIỂN VI HỆ THỐNG

Email: hung.vungoc@hust.edu.vn; hungvungoc@itims.edu.vn LĨNH VỰC NGHIÊN CỨU Vi hệ thống cơ điện tử (MEMS): Vật liệu và Linh kiện.Nghiên cứu phát triển linh kiện MEMS quán tính: Con quay vi cơ, cảm biến gia tốc.Nghiên cứu phát triển linh kiện MEMS áp điện trên cơ sở vật liệu sắt điện/áp điện (PZT, BZT, Tinh thể thạch anh,…). GIẢNG DẠY Introduction to materials science Vật lý và linh kiện bán dẫn nâng cao GIỚI THIỆU GS. TS. Vũ Ngọc Hùng là giảng viên cao cấp, Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu (ITIMS), [...]

Trưởng nhóm nghiên cứu và phát triển vi hệ thống Email: hoangcm@itims.edu.vn; hoang.chumanh@hust.edu.vn LĨNH VỰC NGHIÊN CỨU Vi hệ thống cơ-quang-điện tử Quang học micro/nano Cảm biến vi cơ điện tử CÁC NGHIÊN CỨU QUAN TÂM Vi hệ thống cơ-quang-điện tử Quang học micro/nano Cảm biến vi cơ điện tử GIẢNG DẠY Vật liệu và linh kiện MEMS Vật liệu kỹ thuật cho plasmon bề mặt Kỹ thuật khắc mẫu từ micro tới nano mét tiên tiến Linh kiện quang tử tiên tiến trên cơ sở công nghệ vi hệ thống GIỚI THIỆU [...]